无尘洁净室它是悬浮粒子浓度受控,其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子少的房间。室内的其它参数包括:温度、温度、气压等,按需要受控。
洁净室采用顶送底排的紊流型空气洁净方法,洁净室外的非洁净空气被吸入中效送风箱,须经过初中效过滤后,经过送风管道送入洁净室顶部的保温送风口中,经过滤后进入洁净室内部,从而使洁净室内达到所需的洁净度。进入洁净室内的洁净空气再由洁净室底部的回风窗流入顶部的回风管,再经回风管回到机房进入中效送风箱,形成循环。在循环的中间还设置空调机系统,对循环空气进行温湿度控制。
洁净等级划分:十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等静态。联邦209E标准:每立方英尺空间内粒径为0.5um的粒子不超过个。
洁净室内的建筑材料不产生粒子且便于清洁。