多功能镀膜机具有蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等功能(用户可以选配等离子镀保护膜)。
真空室:不锈钢,立式,单门/双门/四门,尺寸大小客户定
工件转动:公自转、无级变速
温度控制:自动温度控制
镀膜源:1.蒸发镀膜源,2.磁控溅射镀膜源(一个旋转磁控圆柱状溅射镀膜源、两个平面磁控溅射镀膜源),3. 多弧离子镀膜源(一个旋转磁控多弧柱状镀膜源、两个矩形平面磁控多弧镀膜源),4.负偏压电极
电源:蒸发镀膜电源,磁控溅射镀膜电源,多弧镀膜电源,负偏压电源。
控制部分:手动控制/自动控制
真空测量:复合真空计
流量控制:质量流量控制器
真空机组:70机械泵,8机械泵,630扩散泵,罗茨泵,真空阀门,真空管道。
用户可以选配灯具镀保护膜。
多功能镀膜机是应用广泛镀膜机,短时间内不会落后,市场来料加工镀膜应用具有很强竞争力,能镀膜各种膜层。